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同样受芯片断供拖累的公司还有华兴,以及其他诸多下≈nj;游产业。
半导体业界内其他关联公司眼看≈nj;华兴和鸿芯被美国商务部简单一个芯片出≈nj;口禁令就≈nj;狼狈至此,不由≈nj;产生唇亡齿寒之感,因此私底下≈nj;悄悄出≈nj;力,尽量拖延生存时间。
水木大学的教授研发出≈nj;光刻机双工作台这一消息传出≈nj;,成为业界一剂振奋剂,为萎靡不振的华国半导体产业注入一点蓬勃的力量。
五月底,蓝河科技实验室内,光源系统进入验收阶段。
与春城光机所合作,由≈nj;春城光机所入股的国科精密提供的光学系统(一系列精密镜头、反射镜和透镜等光学元件系统),在此光学系统的基础上进行≈nj;光源系统的实验验收。
盛明安担任该光源系统总工程师,左手旁是程院长≈nj;,右手是陈惊g,身后分别是雷客一行≈nj;人以及程院长≈nj;带来的研发团队。
原本光源系统研发进程没这么快,但有了程院长≈nj;的研发团队便如虎添翼,进程迅速缩短一半。
现在正是光源系统的验收时刻,不是在电脑软件上运行≈nj;的仿真建模,而≈nj;是真实设备的光源系统实验验收阶段!
雷客紧张的吞咽口水,眼角余光瞥见杜颂这家伙紧张得手臂打摆!
真没出≈nj;息!
他这么想≈nj;着,浑然不知道自己≈nj;的表现也好不到哪去。
在场估计没人不紧张,哦,盛明安除外,任何≈nj;重大科学工程验收阶段,他都表现得非常淡定,好像一个局外人,让人即羡慕又嫉妒。
程院长≈nj;看≈nj;了眼右边的电子表,此刻时间是19点42分31秒。
他轻声说:“开始吧。”
顿了顿,程院长≈nj;说:“盛工,你来吧。”
“唔?”盛明安有点诧异,老实说程院长≈nj;无论资历还是辈分都比他高几轮,被长≈nj;辈喊‘盛工’、谦让,他不太好意思:“您喊我名字就≈nj;行≈nj;。光源系统的研发也有您的一份力,还是您来。”
程院长≈nj;摆摆手笑着拒绝:“我这辈子扛过不少科学大工程的验收阶段,不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说光源系统主要是你一手策划完成,我只是个半路杀出≈nj;的辅助,行≈nj;了别推辞,再推让下≈nj;去该下≈nj;班了。”
行≈nj;吧。盛明安点点头,示意身后研发团队各就≈nj;各位,紧盯前方全套的光源系统设备,沉着冷静的说:“开始验收。准备――”
“已启动数据记录,光源验收记录,功率消耗记录。”
“靶材装置确定装载完毕。”
“电源确定。”
“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”
“……”
接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏,每一句报告简短有力,错落有序,整洁飞快,无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情。
“启动二氧化碳脉冲激光器!”
话音一落,盛明安按下≈nj;开关按钮,众人抬头看≈nj;向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备,一尘不染的银白色设备在冷光下≈nj;散发出≈nj;奇妙无机质的机械美。
机械表而≈nj;很≈nj;平静,盛明安等人看≈nj;不到内部正在发生的变化,他们只能通过最≈nj;终结果判断是否成功,而≈nj;过程很≈nj;短暂、很≈nj;快速,快到频率一秒五万次!
盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化,它≈nj;切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看≈nj;实验。
视角先是银白色的机械,瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备,时间和空间被虚化,内部一片黑暗,若鸿蒙未开的混沌宇宙。
突然前方一个闪亮的光点,先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈,圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张,由≈nj;圆点扩张成椭圆形,光越来越盛、越来越亮,猛然爆发出≈nj;闪亮耀眼的白光,瞬间照亮黑暗的内部,一条细长≈nj;发亮的紫光倏然蹿出≈nj;发光口,通过圆形长≈nj;管,进入光束矫正器,通过能量转换器……
最≈nj;终击中直径30μ的靶材料(锡液滴)。
视角追随其中一条光线,忽然向后拉远,视角范围内出≈nj;现数以万计的紫色细长≈nj;光线穿过一个又一个圆形长≈nj;管最≈nj;后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子,释放等离子体,激发纳米级光子,完成光刻机的曝光步骤。
视角再向后拉远,饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由≈nj;为这号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。
激光经过多重反射镜均匀化、收集,投影掩膜,击中靶材料,获取需求中的等离子体。
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